离子束是以近似一致的速度沿几乎同一方向运动的一群离子，离子束可广泛用于工业加工，而其中应用尤广的便是离子束蚀刻。离子束蚀刻可应用于如加工陀螺仪空气轴承和动压马达上的沟槽、蚀刻如集成电路、光电器件和光集成器件等征电子学构件高精度图形，以及太阳能电池表面的非反射纹理表面，还可以还应用于减薄材料，制作穿透式电子显微镜试片。
近日，牛津仪器发布了最新版的离子束蚀刻白皮书，全面介绍了离子束的产生、离子束技术以及离子束技术的工艺应用。对离子束蚀刻技术以及在蚀刻工艺中的主要应用和优势有着全面而独到的阐释。
该离子束蚀刻白皮书由Sebastien Pochon博士和Dave Pearson博士执笔，能够为该领域的客户以及技术人员提供诸多重量级的技术资料。牛津仪器作为世界领先的离子束技术和系统制造商，将会不断的开发新的离子束工具，提供技术资料白皮书，推动离子束技术的发展。